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256Mbit DRAM用的新掩模修正技术
日本电气公司开发和设计贴近的蚀刻图形,掩模修正技术可用于制造下一代256Mbit DRAM上.该法与以往使用的修正方法有所不同,这次研......
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4Gbit DRAM用的ArF准分子激光曝光技术
据日本《电子技术》1996年第8期报道,日本富士通公司为了1GbitDRAM的规模生产需要,开发了ArF准分子激光曝光技术,成功地形成了用于4Gb......
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